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日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器帶導(dǎo)桿型GSTS

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器帶導(dǎo)桿型GSTS采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動(dòng)，支持 16 級(jí)速度調(diào)節(jié)（5~500mm/s）和 64 點(diǎn)位置細(xì)分，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓微米級(jí)定位需求（如檢測(cè)設(shè)備中探頭的精密移動(dòng)）。...

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器旋轉(zhuǎn)型FGRC

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器旋轉(zhuǎn)型FGRC采用蝸輪 + 皮帶傳動(dòng)，支持 16 級(jí)速度調(diào)節(jié)（20~200°/s）和 10 級(jí)位置細(xì)分，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓微米級(jí)定位需求（如檢測(cè)設(shè)備中傳感器的精密旋轉(zhuǎn)...

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑臺(tái)型FLCR

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑臺(tái)型FLCR采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動(dòng)，支持 16 級(jí)速度調(diào)節(jié)（5~300mm/s）和 10 級(jí)位置細(xì)分，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓微米級(jí)定位需求（如檢測(cè)設(shè)備中傳感器的精密移動(dòng)）。搭...

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器雙夾爪夾持型FLSH

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器雙夾爪夾持型FLSH電動(dòng)驅(qū)動(dòng)精準(zhǔn)可控：區(qū)別于氣動(dòng)夾爪的 “剛性?shī)A持”，F(xiàn)LSH 系列通過(guò)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，支持16 級(jí)夾持力調(diào)節(jié)（最小調(diào)節(jié)單位 1N）和無(wú)級(jí)速度調(diào)節(jié)（5~50mm...

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器3夾爪夾持型DCKW

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器3夾爪夾持型DCKW高精度定心夾持：3 夾爪呈 120° 對(duì)稱(chēng)分布，相比 2 夾爪能自動(dòng)對(duì)中工件（定心≤0.02mm），尤其適合圓形 / 環(huán)形工件（如軸承、齒輪、密...

日本CKD喜開(kāi)理半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器DLSH

日本CKD喜開(kāi)理半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器DLSHGCKW 系列采用三爪聯(lián)動(dòng)卡盤(pán)設(shè)計(jì)，單側(cè)行程達(dá) 3mm（總行程 6mm），最大夾持力 29N，可穩(wěn)定抓取 φ16~φ100mm 的晶圓或圓柱形工件。其重復(fù)定位精...

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器FFLD

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器FFLDFFLD 系列提供50mm、100mm、160mm三種單側(cè)行程選擇（總行程分別為 100mm、200mm、320mm），其中 FFLD-50 型單側(cè)行程達(dá) 80mm，...

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ELCR

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ELCRELCR 系列是 CKD 面向精密制造、電子半導(dǎo)體及自動(dòng)化檢測(cè)領(lǐng)域推出的滑塊型電動(dòng)執(zhí)行器，以 “緊湊結(jié)構(gòu) + 高精度控制 + 長(zhǎng)壽命運(yùn)行” 為核心設(shè)計(jì)目標(biāo)。其采...

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ERL2

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ERL2ERL2 系列是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)型直線(xiàn)執(zhí)行器，采用帶滾珠保持器的線(xiàn)性導(dǎo)軌與帶潤(rùn)滑輔助裝置的滾珠絲杠組合，實(shí)現(xiàn)高精度、高剛性與長(zhǎng)期免...

日本CKD半導(dǎo)體直驅(qū)馬達(dá)高精密型(ABSODEX)

日本CKD半導(dǎo)體直驅(qū)馬達(dá)高精密型(ABSODEX)ABSODEX 小型直驅(qū)馬達(dá)（AX7000 系列）是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅(qū)解決方案，采用無(wú)齒輪直驅(qū)技術(shù)，消除傳統(tǒng)傳動(dòng)鏈的間...

日本CKD半導(dǎo)體通用型(ABSODEX)

日本CKD半導(dǎo)體通用型(ABSODEX)ABSODEX 小型直驅(qū)馬達(dá)（AX6000M 系列）是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅(qū)解決方案，采用無(wú)齒輪直驅(qū)技術(shù)，消除傳統(tǒng)傳動(dòng)鏈的間隙與磨損...

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